高响应、大通径：允许通过流量大（约45L/min）、单体防掉落功能、系统防掉落
IPU310系列是汇川技术研制的一款真空泵组件，广泛应用于工业自动化行业，如手机，硅晶，面板，包装，锂电以及半导体等行业，高响应和大流量的性能为您带来设备的提效，且针对厂务真空的由单体掉料引发集体掉料的痛点，推出泄漏隔离功能，产品内置高级算法，单体检测到掉料，会自动关闭真空阀，隔离泄漏点，从根源上防止回路真空不足的问题。不用气罐做缓冲，对终端的痛点做出最优解！